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真空泵的选型

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真空泵的选型


2016-12-06     分享次数:605   作者:admin


真空泵选型
    真空的获得,是借肋真空泵来实现的。不同种类的泵,它有着一定工作条件和范围,在选择真空泵时,应充分考虑到它的特性和规格,并从所设计系统的以下四个条件出发。
    (1)被抽真空容器的体积(包括管路)及生产率要求。
    (2)所要求的真空度。
    (3)抽出气体的种类。
    (4)工作期间工件和系统的放气盘和漏气。
    目前在我国电子工业生产中,常用的真空泵的基本类型主要是机械泵和油扩散泵(有时加冷凝阱)。现仅就这两种类型真空泵(金属的)的选择问题简介如下。
    机械泵工作的基本原理是利用转子,将机械泵的工作空间周期性的压缩和膨胀,从而排出容器中的气体(经导管流入机械泵中的)。
    机械泵按结构特征可分为旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、多片式直空泵和双转子真空泵(罗茨泵)等。
    目前在我国电子工业生产中,应用较多的是旋片式真空泵。大路通给出了旋片式真空泵之一的结构。
    我国目前常用的机械泵的规格
    机械泵工作性能的好坏,受很多因素的形响,如结构形状、加工梢度、机械泵油的性能、工作环境、被抽气体种类和机件磨损情况等。目前虽然有人在理论上从泵的有害空间、气密性、极限压强、抽气速率和寿命等方面分析后,认为滑阀式好,定片式次之,但是尚未提供有力的证据。
    机城真空泵目前一般已能达到5x10一5 X10-1毫米水银柱左右,再高的真空度要求,单单靠一个机械泵是满足不了的,还必须采用扩散泵(当真空度要求达10-6~10-7毫米水银柱以上时,还需加用其他真空获得的部件)来继续完成机械泵所不能达到的真空度。

    产品结构及工作原理:

    在缸体内,转子④是通过端盖的偏心孔安装固定的,紧靠左部⑦几乎与缸体腔壁接触。转子叶片③安装在多个转子槽中。当转子④开始转动,由于离心力作用叶片③抛出后沿缸体内部滑动,将缸体和转子之间的空间分隔成数个工作腔。当工作腔和进气口①相连时,吸入气体。随着转子④的继续转动,被吸入的气体被压缩,进而排除到油箱内。恒定的压力差使真空泵润滑油进入压缩腔。润滑油和被抽气体一起排入油箱内,通过重力作用和油过滤器网⑥以及排气过滤器⑿的作用下使得油、气分离,润滑油回落到油箱底部,再次进入工作腔(油循环),不含油的气体通过排气过滤器排向大气。为了避免吸入固体颗粒,真空泵在进气口处安装了进气滤网⑿。为了避免关闭电源后,叶片逆向旋转,真空泵安装了止回阀②。(此阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用,而且关闭真空泵后,此阀不能防止油被吸入真空系统内。)如果真空泵配有气镇阀⑾(可选):少量空气通过气镇阀进入真空泵腔体内,连同工艺气体一起被压缩,这样可防止真空泵内工艺气体中可凝气体成分的冷凝(参考“操作注意事项)。气镇阀配有纸质滤芯。(如果气镇阀配有球阀,则通过球阀,气镇阀能够部分或全部关闭。)